荷蘭出手了！ASML DUV光刻機設備出口受限，今夏前實(shí)施

ASML緊急回應：關(guān)注成熟制程的客戶(hù)不受影響。

當地時(shí)間3月8日，荷蘭出手了，宣布計劃對半導體技術(shù)出口實(shí)施新的管制。

這一消息源于荷蘭外貿與發(fā)展合作大臣Liesje Schreinemacher致荷蘭議員的一封信，其中寫(xiě)道：

“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景，政府得出結論，為了國家安全，有必要擴大對特定半導體制造設備的現有出口限制。”

信中還提到，荷蘭方面將建立國家出口管制清單，管制措施也將在今年夏天之前開(kāi)始實(shí)施。

可以注意到，致信中并沒(méi)有直接點(diǎn)名ASML、光刻機和中國，但聯(lián)想到1月份美日荷三方于白宮會(huì )面商討出口限制一事，以及達成的那份沒(méi)有公布細節的協(xié)議，本次荷蘭出手的緣故顯而易見(jiàn)。

而就在之后接受媒體采訪(fǎng)時(shí)，Schreinemacher也表示，新禁令下還是有許多更低端的設備可以銷(xiāo)往中國，無(wú)需取得許可，包括制造汽車(chē)、冰箱、電話(huà)和風(fēng)力發(fā)電機所需芯片的設備。

荷蘭宣告出手限制出口的第二天，光刻機龍頭ASML也做出了自己的回應。

“最先進(jìn)”DUV設備受限

事實(shí)上，自2019年以來(lái)，ASML的EUV設備就被禁止出口中國大陸。這一次的焦點(diǎn)，在于DUV設備，其主要用于生產(chǎn)28nm及更成熟制程的芯片，通過(guò)多次曝光，也是可以實(shí)現7nm制程的。

在聲明中，ASML先是表明荷蘭政府的措施不會(huì )對公司2023年的財務(wù)產(chǎn)生重大影響。隨后稱(chēng)，最新出口管制并不適用于所有的浸沒(méi)式光刻工具，而是僅適用于“最先進(jìn)”工具。

至于“最先進(jìn)”的具體定義，荷蘭政府方面尚沒(méi)有給出確切的消息。不過(guò)ASML給出了自己的解釋——關(guān)鍵的浸沒(méi)式系統，即TWINSCAN NXT:2000i和后續推出的浸沒(méi)式系統。

ASML官網(wǎng)顯示，其浸沒(méi)式DUV設備目前主要有3款產(chǎn)品，分別是TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:1980Di。其中依照ASML對“最先進(jìn)”的理解，NXT:2050i和NXT:2000i將受到此次出口限制影響，NXT:1980Di則不受影響。

據悉，NXT:1980Di 的分辨率可以達到≤38nm，每小時(shí)可以生產(chǎn)275片晶圓，當前主要被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn)。

依據ASML在聲明中所言，主要關(guān)注成熟制程的客戶(hù)，使用不太先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻工具也能夠得到很好的服務(wù)。

技術(shù)限制步步緊逼

當前的光刻機市場(chǎng)，ASML與尼康、佳能一起拿下超過(guò)90%的市場(chǎng)份額。其中，ASML主要著(zhù)眼于高端市場(chǎng)，也是全球唯一的EUV光刻機供應商，尼康和佳能則聚焦中低端市場(chǎng)。

自然而然的，這個(gè)被稱(chēng)作“半導體工業(yè)皇冠上明珠”的領(lǐng)域，也被美國視作技術(shù)封鎖，尤其是芯片相關(guān)技術(shù)封鎖的重要一環(huán)。

事實(shí)上，自2018年來(lái)，美國就已經(jīng)開(kāi)始向荷蘭政府施壓，要求其撤銷(xiāo)ASML向中國出口EUV光刻機的許可。它也做到了，自2019年開(kāi)始ASML EUV設備的銷(xiāo)售就受到了限制。

而現在，輪到了DUV設備。

今年1月份，外媒報道稱(chēng)荷蘭首相Mark Rutte會(huì )見(jiàn)美國總統拜登時(shí)，雙方就ASML向中國銷(xiāo)售DUV設備可能實(shí)施的出口限制問(wèn)題進(jìn)行了討論，并于27日達成了一項協(xié)議。

直到現在，三方都沒(méi)有就這份協(xié)議進(jìn)行公開(kāi)或討論，但荷蘭此次宣布的出口限制，也讓外界對這份協(xié)議有了一番猜測。

值得注意的是，彼時(shí)在白宮與美國政府商討事宜的還有日本，后者在半導體材料和設備全球市場(chǎng)中同樣保持領(lǐng)先。有數據統計稱(chēng)，日本企業(yè)在全球半導體設備市場(chǎng)的份額為35%，在全球半導體原材料市場(chǎng)的份額為52%。

就在荷蘭宣布計劃對半導體技術(shù)出口實(shí)施新管制之后不久，也有消息稱(chēng)日本最快將于本周發(fā)布最新芯片設備出口政策。對比荷蘭此次的做法，預計日本也將在很大程度上遵循美國的腳步。針對中國的半導體技術(shù)限制正一步步增強。

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