對話(huà)江蘇福拉特：半導體濕法設備，國產(chǎn)替代正當時(shí)

國產(chǎn)設備能以清洗設備為突破口，讓我們在更多細分領(lǐng)域看到“國產(chǎn)力量”。

如今的半導體產(chǎn)業(yè)，已經(jīng)是現代社會(huì )不可或缺的重要支柱之一。從計算機、到智能手機，再到人工智能，幾乎所有的科技領(lǐng)域都離不開(kāi)芯片的應用。

正是在這個(gè)高度競爭的市場(chǎng)，芯片制造商們一直努力提高芯片的性能，一方面在芯片制程上不斷突破物理極限，另一方面在設計、封裝等環(huán)節研發(fā)新的工藝。然而，隨著(zhù)芯片尺寸的不斷縮小，微小雜質(zhì)及污染物對于芯片良率和性能的影響開(kāi)始變得越來(lái)越顯著(zhù)。

而半導體清洗作為貫穿硅片制造、晶圓制造、封裝等環(huán)節的基礎工序，同樣開(kāi)始朝著(zhù)精細化、專(zhuān)業(yè)化的方向發(fā)展。

值得一提的是，近年來(lái)國產(chǎn)半導體清洗設備不斷精進(jìn)，是半導體設備中國產(chǎn)化率較高的類(lèi)別之一。

在前不久舉辦的“2024世界半導體大會(huì )”上，鎂客網(wǎng)有幸與專(zhuān)攻半導體清洗技術(shù)的江蘇福拉特自動(dòng)化設備有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“福拉特”）進(jìn)行了一次深度交流。

作為一家提供“一站式”服務(wù)的半導體設備供應商，福拉特在國內半導體清洗行業(yè)名聲漸起，其產(chǎn)品更是打破了國外大廠(chǎng)的壟斷。

團隊耕耘20年載，專(zhuān)注濕法設備技術(shù)突破

根據定義，按照清洗介質(zhì)不同，半導體清洗技術(shù)可以分為濕法清洗和干法清洗兩種工藝路線(xiàn)，其中濕法清洗為當前主流技術(shù)路線(xiàn)。

所謂濕法清洗，指的是用液體化學(xué)溶劑或無(wú)離子水，通過(guò)腐蝕、溶解、化學(xué)反應等方法，使硅片表面的雜質(zhì)與溶劑發(fā)生化學(xué)反應，生成可溶性物質(zhì)、氣體或直接脫落，從而達到清潔硅片的目的。

福拉特告訴鎂客網(wǎng)，目前濕法清洗的運用范圍非常廣泛，不僅在硅片制造、先進(jìn)封裝等常見(jiàn)半導體行業(yè)場(chǎng)景里，在泛半導體行業(yè)，對于這種清洗技術(shù)同樣有所需求。

因此，根據使用場(chǎng)景的不同，濕法清洗技術(shù)路線(xiàn)又被細分成單片清洗設備、槽式清洗設備、批式旋轉噴淋清洗設備和洗刷器等類(lèi)別，其中單片和槽式清洗設備是目前主流的清洗設備，而福拉特目前在這兩條主流路線(xiàn)上均有相關(guān)產(chǎn)品推出。

在本次大會(huì )上，福拉特帶來(lái)了公司最新的單片濕法設備以及槽式濕法設備，其產(chǎn)品規格最高支持19nm，是目前國內一流水平。除此以外，福拉特另一大主力產(chǎn)品——藥液濃度在線(xiàn)檢測儀，可針對多領(lǐng)域使用的藥液進(jìn)行濃度測量、在線(xiàn)檢測分析與管理，同樣也在業(yè)內得到了市場(chǎng)驗證以及客戶(hù)認可。

總的來(lái)說(shuō)，福拉特的優(yōu)勢在于其產(chǎn)品可以覆蓋客戶(hù)的大部分需求；而另一方面，福拉特更是國內少有的“一站式”濕法設備供應商。

據介紹，從行業(yè)現狀來(lái)看，國內大部分企業(yè)的清洗主設備和附屬設備一般由不同供應商提供，而福拉特可以同時(shí)提供硬件以及配套軟件。

因此對于客戶(hù)來(lái)講，無(wú)論是前期評估成本、后期運營(yíng)成本、還是整體采購成本，“一站式采購”都能做到節省大量成本，為企業(yè)實(shí)現降本增效。

值得一提的是，福拉特2011年于昆山成立，并在2017年成立南京研發(fā)制造中心，但在這之前，福拉特的核心團隊已經(jīng)在濕法工藝領(lǐng)域耕耘了20余年左右，積累了相當豐富的經(jīng)驗。

正是憑借對技術(shù)的熱愛(ài)以及市場(chǎng)的敏銳洞察力，福拉特可以輕松滿(mǎn)足客戶(hù)的定制化需求或產(chǎn)品匹配。

最終在口碑的不斷積累下，福拉特在業(yè)內打響名聲。

國產(chǎn)替代正當時(shí)，扛起重任

從全球大環(huán)境來(lái)看，半導體清洗設備市場(chǎng)主要被日本迪恩士、東京電子、細美事和泛林半導體把持，四家公司合計市場(chǎng)占有率達到90%以上，市場(chǎng)格局較為集中。

但由于清洗設備本身占據成本空間并不大，且復雜程度較刻蝕設備、薄膜沉積設備等類(lèi)別相對較低，因此也是國產(chǎn)化可能性最大的類(lèi)別之一。

作為國內領(lǐng)先的濕法制程設備供應商，福拉特在近些年的發(fā)展歷程中，明確了以“中國創(chuàng )造引領(lǐng)半導體顯示裝備發(fā)展”為愿景，并堅持以“科技創(chuàng )新，強大中國半導體顯示裝備產(chǎn)業(yè)”為使命，著(zhù)眼于攻克行業(yè)前沿和卡脖子技術(shù)。

據介紹，福拉特在吸納海外優(yōu)秀技術(shù)的同時(shí)，其技術(shù)團隊也在不斷調研國內市場(chǎng)環(huán)境。針對國內缺失的技術(shù)或環(huán)節，福拉特的技術(shù)團隊持續地進(jìn)行研發(fā)、完善與迭代。最終在應用場(chǎng)景的不斷積累與豐富之后，福拉特在技術(shù)上已實(shí)現國內領(lǐng)先8項、唯一3項、首創(chuàng )3項，其產(chǎn)品也打破了國外廠(chǎng)商的壟斷。

而從長(cháng)期發(fā)展目標來(lái)看，福拉特除了會(huì )繼續在濕法設備端耕耘以外，未來(lái)還會(huì )在材料等環(huán)節投入精力，為開(kāi)拓泛半導體應用場(chǎng)景打好基礎。

結語(yǔ)

如今的半導體清洗工藝，幾乎貫穿了整個(gè)集成電路生產(chǎn)過(guò)程。同時(shí)，隨著(zhù)線(xiàn)寬不斷縮小，對于顆粒和薄膜厚度的控制要求越來(lái)越高，半導體清洗工藝的重要性日益凸顯，市場(chǎng)逐年擴大。

可以說(shuō)，以濕法清洗為代表的新技術(shù)，保證了芯片產(chǎn)品的性能和良率，可謂“錦上添花“，足以看出該市場(chǎng)的潛能。

另一方面，以福拉特為代表的國產(chǎn)半導體廠(chǎng)商，在技術(shù)層面的持續耕耘，為國產(chǎn)替代注入了更多的動(dòng)力，也為更多企業(yè)的發(fā)展提供了出色的模板。

相信在不久的未來(lái)，國產(chǎn)設備能以清洗設備為突破口，讓我們在更多細分領(lǐng)域看到“國產(chǎn)力量”。

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